�體積小、緊湊�微透鏡標準配置: 33 x 33 spots(最多可達100X100) 采用Single Pass 測試光路�測試最大口徑 Φmax=6.8mm (可選用光束轉換系列附件,應用于不同口徑的原件測量波長范圍:獨特的相機外置設計,可以更換不同的相機,覆蓋從深紫外到中遠紅外波段)
Cal25 準直校正光源Cal25-M 帶自調整功能的準直校正光源PH50 Pinhole 光源BE 25 擴束器,可測試最大25mm口徑元件BE 60 擴束器,可測試最大60mm口徑元件BE 300擴束器,可測試最大300mm口徑元件
在線對準功能On-line alignment在線準直功能On-line collimation自動優化曝光時間波前重建 (tilt removed)15 種標準光學波像差 Zernike aberration terms