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系統
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測試技術
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基于夏克-哈特曼波前測量技術
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測試軟件
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Sensoft
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測試能力(Single Pass光路)
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各種透射性光學元件和光學系統，如透鏡、鏡頭、濾光片等
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測試能力(double pass光路)
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各種透射及反射性光學元件及光學系統，尤其適合表面測量
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工作波長
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白光或任意波長（通過濾光片實現），也可以選激光作為光源
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架構
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立式
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電腦
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可選，用戶提供標準電腦即可
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軟件功能
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在Windows XP 下，具有控制及分析計算功能
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自動位移臺
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移動軸
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2 個垂直移動 Z 軸位移臺
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技術
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集成了磁性編碼器的步進馬達
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步進解析度
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0.02μm (螺紋間距 1mm)
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定位重復性
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0.8μm
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行程范圍
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150mm each stage for a total of 300mm
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長度測試不確定性
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8μm
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速度
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三種速度可調: 慢速/中速/快速
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控制軟件
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由 Sensoft 控制
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外觀
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外形尺寸 (L x H x D)
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600 x 370 x 320 mm (approx)
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重量
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approx. 20 kg
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測試精度 (all values at 632.8nm)
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澤爾尼克系數重復性
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λ/300
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測試不確定性
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λ/20
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適用于產線和實驗室使用的波前測試儀器
: Optino波前探測系統
