OPAL 自动波前测试系统

OPAL 是一个高度自动化、满足多种精密光学测试、激光测试的测试平台。

OPAL系统是在Optino基础上,增加马达驱动的精密导轨,和样品专用夹具,系统可自动寻找焦点,从而使得测试工作自动化,省去了在使用Optino时搭建测试光路上的时间。特别是,在具备Optino的所有功能上,OPAL还可对曲率半径进行测量!

            • 适用于产线和实验室使用的波前测试仪器
            • 适用于震动环境条件下测试
            • 模块式设计,适用于各种表面测量(平面& 球面)
            • 2种测试模式: double pass or single pass
            • 可以测量各种透镜
            • 测量曲率半径(绝对和相对)及焦长
            • 自动测量
            • 高精度步进马达,并带有编码器
            • 内置自准直平行光管,保证测试光路精准,操作简单

 

主要技术指标

系统

测试技术

基于夏克-哈特曼波前测量技术

测试软件

Sensoft

测试能力(Single Pass光路)

各种透射性光学元件和光学系统,如透镜、镜头、滤光片等

测试能力(double pass光路)

各种透射及反射性光学元件及光学系统,尤其适合表面测量

工作波长

白光或任意波长(通过滤光片实现),也可以选激光作为光源

架构

立式

电脑

可选,用户提供标准电脑即可

软件功能

在Windows XP 下,具有控制及分析计算功能

自动位移台

移动轴

2 个垂直移动 Z 轴位移台

技术

集成了磁性编码器的步进马达

步进解析度

0.02μm (螺纹间距  1mm)

定位重复性

0.8μm

行程范围

150mm each stage for a total of 300mm

长度测试不确定性

8μm

速度

三种速度可调: 慢速/中速/快速

控制软件

由 Sensoft 控制

外观

 

外形尺寸 (L x H x D)

600 x 370 x 320 mm (approx)

重量

approx. 20 kg

测试精度 (all values at 632.8nm)

泽尔尼克系数重复性

λ/300

测试不确定性

λ/20

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