微透镜阵列

材料 熔石英、光学玻璃、塑料
光谱范围 193 nm to 14 μm
微透镜尺寸 10 to 4000 μm
微透镜类型 正、负透镜、球面、非球面
外形公差 ± 10 nm
NA值 0.004 - 0.8
阵列形状 正交、六边形等
透镜定位精度 ± 0.2 μm
焦距误差 ± 2% (100mm大阵列)
阵列面积 up to 300 x 300 mm2

光束整形:高斯化, 平顶化,生成线、十字等各种形状
激光均匀照明(光刻照射系统)
激光快轴、慢轴耦合准直(可集成VHG稳频功能)
光纤通讯:光纤耦合,光开关
光计算元件(Fourier-transformers, etc.)
夏克哈特曼波前探测
3D成像,激光投影电视、激光表演等
医疗应用:内窥镜微光学元件,激光医疗,眼科



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