微透镜阵列
材料 熔石英、光学玻璃、塑料 光谱范围 193 nm to 14 μm 微透镜尺寸 10 to 4000 μm 微透镜类型 正、负透镜、球面、非球面 外形公差 ± 10 nm NA值 0.004 - 0.8 阵列形状 正交、六边形等 透镜定位精度 ± 0.2 μm 焦距误差 ± 2% (100mm大阵列) 阵列面积 up to 300 x 300 mm2
光束整形:高斯化, 平顶化,生成线、十字等各种形状 激光均匀照明(光刻照射系统) 激光快轴、慢轴耦合准直(可集成VHG稳频功能) 光纤通讯:光纤耦合,光开关 光计算元件(Fourier-transformers, etc.) 夏克哈特曼波前探测 3D成像,激光投影电视、激光表演等 医疗应用:内窥镜微光学元件,激光医疗,眼科
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