系統

測試技術

基于夏克-哈特曼波前測量技術

測試軟件

Sensoft

測試能力(Single Pass光路)

各種透射性光學元件和光學系統，如透鏡、鏡頭、濾光片等

測試能力(double pass光路)

各種透射及反射性光學元件及光學系統，尤其適合表面測量

工作波長

白光或任意波長（通過濾光片實現），也可以選激光作為光源

架構

立式

電腦

可選，用戶提供標準電腦即可

軟件功能

在Windows XP 下，具有控制及分析計算功能

自動位移臺

移動軸

2 個垂直移動 Z 軸位移臺

技術

集成了磁性編碼器的步進馬達

步進解析度

0.02μm (螺紋間距  1mm)

定位重復性

0.8μm

行程范圍

150mm each stage for a total of 300mm

長度測試不確定性

8μm

速度

三種速度可調: 慢速/中速/快速

控制軟件

由 Sensoft 控制

外觀

外形尺寸 (L x H x D)

600 x 370 x 320 mm (approx)

重量

approx. 20 kg

測試精度 (all values at 632.8nm)

澤爾尼克系數重復性

λ/300

測試不確定性

λ/20